원익IPS, 챔버 세정 관련 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2013-06-17 13:46:01 ㅣ 2013-06-17 13:49:12 [뉴스토마토 박진아기자] 원익IPS(030530)는 비정질탄소막 증착공정에서의 챔버 세정 장치 및 이를 이용한 챔버 세정 방법에 대한 특허를 취득했다고 17일 공시했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 유진테크, 29억 규모 반도체 제조장비 공급계약 유니슨, 칠레 풍력발전단지 건설 인허가 신청 준비 중 테크윙, 30억 규모 이엔씨테크 유상증자 참여 화신정공, 차량용 댐퍼 등 특허권 2종 취득 박진아 지금 이 순간, 정확하고 깊이있는 뉴스를 전달하겠습니다. 뉴스북 이 기자의 최신글 기술 인재가 미래 주역…"중요한 건 꺾이지 않는 마음" 가축전염병 정보공개 대상에 럼피스킨 추가 막 내린 국제기능올림픽…한, 2회 연속 아쉬운 '종합 2위' (인터뷰)강승환·정성일 "로봇시스템 통합, 목표는 금메달" 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스