테스, 기관 처리 장치 관련 특허 취득 공유하기 X 페이스북 트위터 URL복사 복사 2011-12-06 13:45:35 ㅣ 2011-12-06 13:47:07 [뉴스토마토 이한승기자] 테스(095610)는 '기관 처리 장치 및 이의 배기 방법'에 관한 특허권을 취득했다고 6일 공시했다. 이번 특허로 반도체 제조공정 중 하나인 박막 증착시 측방배기를 실시해 우수한 균일도를 실현할 수 있고, 세정 공정시 하방 배기를 실시해 세정효율을 높일 수 있을 것이라고 설명했다. ⓒ 맛있는 뉴스토마토, 무단 전재 - 재배포 금지 관련기사 소프트포럼, 22일 임시주총 소집 결의 크루셜텍, 광 조이스틱 관련 특허 취득 우리금융지주, 9일 삼성증권서 IR 열어 DGB금융지주, 8~9일 일본서 IR 개최 이한승 뉴스북 이 기자의 최신글 0/300 댓글 0 추천순 추천순 최신순 반대순 답글순 필터있음 필터있음필터없음 답댓글 보기3 0/0 댓글 더보기 뉴스리듬 이 시간 주요 뉴스 인기 뉴스 함께 볼만한 뉴스