[뉴스토마토 김동현 기자] 반도체 테스트베드 기관 나노종합기술원은 국내 중소기업 템퍼스와 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서' 양산에 성공했다고 17일 밝혔다. 마이크로 적외선 센서는 서로 다른 두 금속의 접촉 부위 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용해 인체감지에 유리한 원적외선(8~14㎛대)을 검출하는 실시간 온도 측정 센서다.
코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하며 나노종기원과 템퍼스는 체온계용 적외선 온도센서의 대량 양산 기술개발을 추진했다. 나노종기원은 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서 양산에 반도체 호환 공정을 적용해 높은 수율 확보가 가능하고, 공정 단순화로 가격경쟁력을 높였다고 설명했다. 미세기계전자시스템(MEMS)기반 공정에 반도체 제조공정(CMOS)을 접목했다. 해외 경쟁사 대비 감도가 3~5배 우수한 특성도 보였다.
.jpg "나노종기원과 템퍼스는 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서 양산에 반도체 제조 공정(CMOS)을 적용했다. 사진/과기정통부")
나노종기원과 템퍼스는 비접촉식 온도 측정용 적외선 센서 양산에 반도체 제조 공정(CMOS)을 적용했다. 사진/과기정통부
최근 코로나19 방역에 필수적인 비접촉식 체온계의 수요가 증가하며 아시아, 미국, 유럽 등 해외에서 구매 문의가 늘고 있다. 이미 500만개의 온도센서를 국내·외 체온계 제작기업에 납품을 완료했다. 지난 15일에는 미국 식품의약국(FDA)의 인증을 받아 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계의 미국 수출도 준비 중이다.
신백규 템퍼스 대표는 "적외선 영역 1~25㎛ 파장대까지 검출할 수 있는 템퍼스의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술지원이 가능한 나노종기원의 협업으로 제품양산과 다양한 앱의 확대가 가능하게 됐다"며 "국내·외 비접촉 체온계 시장을 적극적으로 공략할 계획"이라고 말했다. 고서곤 과기정통부 기초원천연구정책관은 "시스템반도체·센서를 비롯해 소재·부품·장비 기술자립 및 유망기업 육성을 위해 나노종합기술원과 같은 나노인프라 기관과 수요기업 간 연계를 지속해서 강화하고 지원을 확대할 예정"이라고 밝혔다.
김동현 기자 esc@etomato.com